生成AI、5Gの進展や、EV化による電子部品の増加により、半導体市場の継続成長が見込まれている。同時に半導体を熱・光・物理的衝撃などの外的要因から保護するための半導体封止に用いられる半導体封止金型の需要も増加傾向にある。…
高出力タイプを発売 「リニア式真空ポンプ」 （日東工器）
日東工器はこのほど、リニア駆動式の真空ポンプの高出力機種「ＶＰ０９４０Ｔ」を開発した。子会社のメドー産業が販売する。
１２０ｌ／分とシリーズ最大の吐出空気量と、到達真空度がマイナス53・３ｋＰａと高出力を実現。一方で消費電力が１８５ｋＷと省エネも可能にした。
ピストンが左右逆に動くツインピストンを採用し、振動も抑え、作動音も60ｄＢまで低減させた。重量も10㎏と同クラスのポンプとしては軽量で、外観寸法も小型化した。
主な用途は、半導体チップマウンターや印刷・製本機などの産業機器、医療機器などの真空エア源を想定している。標準価格は１０８０００円。
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