ナノレベルの微細加工
安田工業

2020年3月10日

マイクロセンタ「YMC430Ver・Ⅲ」

　半導体や医療機器、光学機器をはじめとする分野の金型は近年、より精密、微細で、一段と高い精度が求められている。

　マイクロセンタ「YMC430Ver・Ⅲ」は、全制御軸（XYZ）にリニアモータ駆動を採用し、高い運動能力と低振動を実現し、±1μmの領域の高精度・高面品位の加工ができる最新鋭のハイエンドマシン。

　コラムは、断面をＨ型とする斬新な方式により、ダブルコラムに近い形状を採用。主軸ヘッドは、X、Y方向における熱変形の影響を受けにくい筒型の形状にした。これら前後左右対称のシンメトリカル構造により、高い剛性と安定性を実現した。

　X、Y軸テーブルはベッドの中心部・低位置に設置したことで高速移動時の反力による振動を抑制。超精密転がり案内を採用しウェービングを大幅に低減。リニアモータ駆動との相乗効果で軸移動の真直性と滑らかさも実現した。

　低振動で高い信頼性を持つ主軸（毎分4万回転）は、安定した高精度加工が可能。また、機体温度制御システムにより各軸の熱変異を低減し、高い加工性能を維持する。

金型新聞　2020年4月10日

金型クリアランス調整が不要に　三菱重工工作機械が大形高精度加工機「MVR・Fx」に搭載できる「空間誤差補正システム」が注目を集めている。経年変化や環境温度変化で生じるXYZ位置の空間誤差を自動的に検知し校正するもので…

2020年4月11日