水中に発生させた気泡（キャビテーション）を金属に高速で衝突させるとそれが崩壊するときの衝撃力でピーニング効果が得られる。ウォータージェットピーニングと呼ぶこの技術はこれまで構造物の強度向上などに用いられてきた。しかし金型…
ナノレベルの微細加工
安田工業
マイクロセンタ「YMC430Ver・Ⅲ」
現場の課題
半導体や医療機器、光学機器をはじめとする分野の金型は近年、より精密、微細で、一段と高い精度が求められている。
提案・効果
マイクロセンタ「YMC430Ver・Ⅲ」は、全制御軸（XYZ）にリニアモータ駆動を採用し、高い運動能力と低振動を実現し、±1μmの領域の高精度・高面品位の加工ができる最新鋭のハイエンドマシン。
コラムは、断面をＨ型とする斬新な方式により、ダブルコラムに近い形状を採用。主軸ヘッドは、X、Y方向における熱変形の影響を受けにくい筒型の形状にした。これら前後左右対称のシンメトリカル構造により、高い剛性と安定性を実現した。
X、Y軸テーブルはベッドの中心部・低位置に設置したことで高速移動時の反力による振動を抑制。超精密転がり案内を採用しウェービングを大幅に低減。リニアモータ駆動との相乗効果で軸移動の真直性と滑らかさも実現した。
低振動で高い信頼性を持つ主軸（毎分4万回転）は、安定した高精度加工が可能。また、機体温度制御システムにより各軸の熱変異を低減し、高い加工性能を維持する。
金型新聞 2020年4月10日
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