生成AI、5Gの進展や、EV化による電子部品の増加により、半導体市場の継続成長が見込まれている。同時に半導体を熱・光・物理的衝撃などの外的要因から保護するための半導体封止に用いられる半導体封止金型の需要も増加傾向にある。…
ミツトヨ、三次元測定の最上位機種を発売
サブミクロン台の精度、筐体デザインも刷新
ミツトヨ（川崎市高津区、044・813・8201）はこのほど、CNC三次元測定機の最上位機種「LEGEXシリーズ」を改良した「LEGEX匠」を発売した。サブミクロン台の測定精度を実現。精密金型や工作機械、半導体製造装置、マスターゲージなどの高い測定精度が要求される分野のニーズに対応する。
測定精度は最大許容長さ測定誤差（0・23+0・7L/1000）μmと従来機比26%向上。1mのものを測定した場合、従来機の測定誤差が1・28μmだったのに対し、「LEGEX匠」では0・93μm以下を実現する。
従来機から誤差要因となっていた温度変化による本体の変形や歪み、プローブ誤差などを分析、排除。また、XYZ軸の駆動部摺動面や、本体構造部品の締結部分などは、同社制度で認定する「匠マイスター」と呼ばれる熟練技能者による超高精度ラップ技術や仕上げ技術を活用し、高精度化を図った。
筐体デザインも刷新し、他製品との統一感を表現した。測定範囲（X・Y・Z）は500・700・450㎜~900・1000・600㎜。製品ラインアップは測定範囲によって、4機種を揃える。
金型新聞 2023年10月10日
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