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高出力タイプを発売 「リニア式真空ポンプ」 (日東工器)

日東工器 真空ポンプの高出力機種「VP0940T」
日東工器 真空ポンプの高出力機種「VP0940T」

日東工器はこのほど、リニア駆動式の真空ポンプの高出力機種「VP0940T」を開発した。子会社のメドー産業が販売する。
120l/分とシリーズ最大の吐出空気量と、到達真空度がマイナス53・3kPaと高出力を実現。一方で消費電力が185kWと省エネも可能にした。
ピストンが左右逆に動くツインピストンを採用し、振動も抑え、作動音も60dBまで低減させた。重量も10㎏と同クラスのポンプとしては軽量で、外観寸法も小型化した。
主な用途は、半導体チップマウンターや印刷・製本機などの産業機器、医療機器などの真空エア源を想定している。標準価格は108000円。

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